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專利狀態(tài)
一種太陽能電池PECVD鍍膜裝置
有效
專利申請進(jìn)度
申請
2020-07-29
授權(quán)
2021-04-06
預(yù)估到期
2030-07-29
專利基礎(chǔ)信息
申請?zhí)?/td> CN202021524052.6 申請日 2020-07-29
授權(quán)公布號 CN212894965U 授權(quán)公告日 2021-04-06
分類號 C23C16/458;H01L31/18
分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
申請人名稱 中建材浚鑫科技有限公司
申請人地址 江蘇省無錫市江陰市申港鎮(zhèn)鎮(zhèn)澄路1011號
專利法律狀態(tài)
  • 2021-04-06
    授權(quán)
    狀態(tài)信息
    授權(quán)
摘要
本實用新型公開了一種太陽能電池PECVD鍍膜裝置，包括硅片臺，所述硅片臺包括放置臺，所述放置臺包括放置臺體，所述放置臺體上設(shè)置有多個硅片槽，所述硅片槽中間連接有多個放置臺卡塊，所述放置臺卡塊中間設(shè)置有圓孔，所述硅片槽一側(cè)設(shè)置有硅片置入口，所述硅片臺還包括鍍膜臺，所述放置臺貼合鍍膜臺，所述鍍膜臺包括鍍膜臺體，所述鍍膜臺體側(cè)面設(shè)置有擋板，所述鍍膜臺體內(nèi)側(cè)設(shè)置有鍍膜臺卡塊，所述鍍膜臺卡塊上連接有支撐釘，所述支撐釘頂部安裝有滾子，所述放置臺和放置臺一側(cè)連接有固定塊，所述固定塊通過固定柱和固定螺母將硅片臺固定于支撐柱上，所述支撐柱一側(cè)安裝有雙向電機(jī)，本實用新型，具有采用水平置入硅片的方式，可以同時鍍膜兩面和減小卡點印的特點。??