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專利狀態(tài)
一種TCO/TiW透明導(dǎo)電薄膜及其制備方法
有效
專利申請(qǐng)進(jìn)度
申請(qǐng)
2016-09-27
申請(qǐng)公布
2017-01-04
授權(quán)
1970-01-01
預(yù)估到期
2036-09-27
專利基礎(chǔ)信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610855569.5 申請(qǐng)日 2016-09-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN106282925A 申請(qǐng)公布日 2017-01-04
授權(quán)公布號(hào) CN106282925B 授權(quán)公告日 1970-01-01
分類號(hào) C23C14/08;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58
分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
申請(qǐng)人名稱 蘇州騰暉光伏技術(shù)有限公司
申請(qǐng)人地址 江蘇省南京市秦淮區(qū)御道街29號(hào)
專利法律狀態(tài)
  • 2018-08-07
    發(fā)明專利權(quán)授予
    狀態(tài)信息
    授權(quán)
  • 2018-03-20
    著錄事項(xiàng)變更
    狀態(tài)信息
    著錄事項(xiàng)變更；IPC(主分類):C23C 14/08；專利申請(qǐng)?zhí)?2016108555695；變更事項(xiàng):申請(qǐng)人；變更前:南京航空航天大學(xué)；變更后:南京航空航天大學(xué)；變更事項(xiàng):地址；變更前:210016 江蘇省南京市秦淮區(qū)御道街29號(hào)；變更后:210016 江蘇省南京市秦淮區(qū)御道街29號(hào)；變更事項(xiàng):申請(qǐng)人；變更前:中利騰暉光伏科技有限公司；變更后:蘇州騰暉光伏技術(shù)有限公司
  • 2017-02-01
    實(shí)質(zhì)審查的生效
    狀態(tài)信息
    實(shí)質(zhì)審查的生效；IPC(主分類):C23C 14/08；申請(qǐng)日:20160927
  • 2017-01-04
    發(fā)明專利申請(qǐng)公布
    狀態(tài)信息
    公布
摘要
本發(fā)明公開了一種TCO/TiW透明導(dǎo)電薄膜及其制備方法，利用超薄TiW合金薄膜層作為擴(kuò)散阻擋層改善TCO薄膜(如摻銦氧化錫(ITO)、摻鋁氧化鋅(AZO)或摻氟氧化錫(FTO)等三種薄膜)與p?Si等襯底的接觸性能；并且通過TiW合金薄膜層的引入作為金屬層，與TCO薄膜形成TCO/TiW雙層薄膜，使薄膜的電學(xué)性能得到明顯改善；TCO/TiW透明導(dǎo)電薄膜在顯示器、太陽電池等半導(dǎo)體器件中具有巨大應(yīng)用前景。一種TCO/TiW透明導(dǎo)電薄膜的制備方法，包括：在襯底的表面上沉積TiW合金，形成TiW合金薄膜層/襯底結(jié)構(gòu)；再在所述TiW合金薄膜層的表面上沉積TCO透明導(dǎo)電氧化物，形成TCO薄膜層/TiW合金薄膜層/襯底結(jié)構(gòu)。